生產(chǎn)中使用的冷卻水溫度與鍍膜線實(shí)際水溫存在差異，導(dǎo)致使用過(guò)程中靶材開(kāi)裂。一般來(lái)說(shuō)，輕微的裂紋不會(huì)對(duì)鍍膜生產(chǎn)產(chǎn)生很大的影響。但當(dāng)靶材有明顯裂紋時(shí)，電荷很容易集中在裂紋邊緣，導(dǎo)致靶材表面異常放電。放電會(huì)導(dǎo)致落渣、成膜異常、產(chǎn)品報(bào)廢增加。

       裂紋形成通常發(fā)生在陶瓷濺射靶材（如氧化物、碳化物、氮化物等）和脆性材料濺射靶材（如鉻、銻、鉍等）中。在本文中，我們將簡(jiǎn)要討論為什么濺射靶材會(huì)開(kāi)裂以及可以采取哪些預(yù)防措施來(lái)避免這種情況？

       陶瓷或脆性材料目標(biāo)始終包含固有應(yīng)力。這些內(nèi)應(yīng)力是在靶材制造過(guò)程中產(chǎn)生的。此外，這些應(yīng)力不能通過(guò)退火過(guò)程完全消除，因?yàn)樗�是這些材料的固有特性。在濺射過(guò)程中，轟擊的氣體離子將其動(dòng)量傳遞給目標(biāo)原子，為它們提供足夠的能量來(lái)脫離晶格。這種放熱動(dòng)量傳遞增加了目標(biāo)的溫度，在原子水平上可能達(dá)到1，000，000攝氏度。這些熱沖擊將靶材中已經(jīng)存在的內(nèi)部應(yīng)力增加到許多倍。在這種情況下，如果不注意適當(dāng)?shù)纳�熱，靶材可能�?huì)破裂。

       為了防止靶材開(kāi)裂，重要的考慮因素是散熱。這需要水冷機(jī)制來(lái)去除靶材中不需要的熱能。可以通過(guò)短時(shí)間內(nèi)提高功率給靶材帶來(lái)熱沖擊。此外，還可以將靶材粘合到背板上，這不僅為目標(biāo)提供支撐，而且還促進(jìn)靶材與水之間更好的熱交換。如果靶材開(kāi)裂但粘合到背板上，它仍然可以毫無(wú)問(wèn)題地使用。